Corrosion resistance consolidation of a diaphragm type vacuum sensor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Corrosion resistance consolidation of a diaphragm type vacuum sensor

著者

和文:	小迫景嗣, 櫻井淳平, N. Mukai, Y. Ohnuma, T. Takahashi, 秦翔.
英文:	H. Kozako, J. Sakurai, N. Mukai, Y. Ohnuma, T. Takahashi, S. Hata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 25th IEEE Int. Conf. MEMS 2011

巻, 号, ページ

pp. 400-403

出版年月

2011年1月31日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 25th IEEE Int. Conf. MEMS 2011

開催地

和文:
英文:	Cancun

DOI