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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Precise Control of Silicate Reaction with La2O3 Gate Dielectrics towards Equivalent Oxide Thickness of 0.5 nm 
著者
和文: 来山大祐, 久保田 透, 小柳友常, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: 来山大祐, 久保田 透, Tomotsune Koyanagi, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文:Taiwan-Japan Workshop on “Nano Devices” 
開催地
和文: 
英文: 

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