ICP-RIEを用いたAlGaInAs/InP埋め込みヘテロ構造レーザ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ICP-RIEを用いたAlGaInAs/InP埋め込みヘテロ構造レーザ
英文:	AlGaInAs/InP Buried Heterostructure Lasers Using ICP-RIE

著者

和文:	佐藤憲明, 白尾瑞基, 佐藤孝司, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Noriaki Sato, Mizuki Shirao, Nobuhiko NIshiyama, Shigehisa Arai, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年7月20日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第72回応用物理学会学術講演会
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開催地

和文:	山形
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