Estimation of electron temperature and density of the decay plasma in a LADPP EUV source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimation of electron temperature and density of the decay plasma in a LADPP EUV source

著者

和文:	Zhu Qiushi, 武藤敬宏, 山田淳三郎, 岸望, 渡辺正人, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Zhu Qiushi, Takahiro Muto, Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, Masato watanabe, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料, プラズマ／パルスパワー合同研究会
英文:	The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology and Pulsed Power Technology

巻, 号, ページ

pp. 15-20

出版年月

2011年12月28日

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	電気学会研究会資料, プラズマ／パルスパワー合同研究会
英文:	Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology and Pulsed Power Technology

開催地

和文:	横浜
英文:	Yokohama