アモルファスシリコンを用いた多層光導波路作製法の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	アモルファスシリコンを用いた多層光導波路作製法の検討
英文:	Fabrication process of multi-layered amorphous silicon wire waveguides

著者

和文:	姜晙炫, 渥美裕樹, 小田学, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	JoonHyun KANG, Yuki ATSUMI, Manabu ODA, Nobuhiko NISHIYAMA, Shigehisa Arai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	光エレクトロニクス研究会(OPE)
英文:

巻, 号, ページ

Tokyo OPE2011-146 pp. 27-32

出版年月

2011年12月16日

出版者

和文:	電子情報通信学会
英文:

会議名称

和文:	光エレクトロニクス研究会(OPE)
英文:

開催地

和文:	東京
英文: