Preparation of a Diameter-controlled Silicon Nanowire Array by Metal Assisted Chemical Etching using Silica Nanoparticles (MACES)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of a Diameter-controlled Silicon Nanowire Array by Metal Assisted Chemical Etching using Silica Nanoparticles (MACES)

著者

和文:	加藤慎也, 渡邊裕也, 黒川康良, 山田明, Y. Ohta, Y. Niwa, M. Hirota.
英文:	S. Kato, Y. Watanabe, Y. Kurokawa, A. Yamada, Y. Ohta, Y. Niwa, M. Hirota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年10月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	Solid State Deices and Materials
英文:

開催地

和文:
英文:	Nagoya