Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Excimer Laser Enhanced Nitridation of Silicon Substrates 
著者
和文: 杉井 寿博, 伊藤 隆司, 石川 元.  
英文: Toshihiro Sugii, Takashi Ito, Hajime Ishikawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Applied Phisics Letters 
巻, 号, ページ Vol. 49    No. 9    pp. 966-968
出版年月 1984年11月1日 
出版者
和文: 
英文:American Institute of Physics 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.