Ti Salicide Process for Sub-quarter-Micron CMOS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ti Salicide Process for Sub-quarter-Micron CMOS Devices

著者

和文:	Kenichi Goto, 山崎辰也, 奈良安雄, 深野哲, 杉井寿博, 有本由弘, 伊藤隆司.
英文:	Kenichi Goto, Tatsuya Yamazaki, Yasuo Nara, Tetsu Fukano, Toshihiro Sugii, Yoshihiro Arimoto, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE TRANSACTIONS on Electronics

巻, 号, ページ

Vol. E-77-C No. 3 pp. 480-485

出版年月

1994年3月20日

出版者

和文:
英文:	The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: