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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Ti Salicide Process for Sub-quarter-Micron CMOS Devices
著者
和文:
Kenichi Goto,
山崎 辰也
,
奈良 安雄
,
深野 哲
,
杉井 寿博
,
有本 由弘
,
伊藤 隆司
.
英文:
Kenichi Goto,
Tatsuya Yamazaki
,
Yasuo Nara
,
Tetsu Fukano
,
Toshihiro Sugii
,
Yoshihiro Arimoto
,
Takashi Ito
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
IEICE TRANSACTIONS on Electronics
巻, 号, ページ
Vol. E-77-C No. 3 pp. 480-485
出版年月
1994年3月20日
出版者
和文:
英文:
The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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