Low Temperature Nitridation of Silicon by Excimer Laser lrradiation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature Nitridation of Silicon by Excimer Laser lrradiation

著者

和文:	杉井寿博, 伊藤隆司, 石川元.
英文:	Toshihiro Sugii, Takashi Ito, Hajime Ishikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of 16th (1984 International Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 433-444

出版年月

1984年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of 16th (1984 International Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文: