Low-Temperature Heteroepitaxy of β- SiC on Si(111) Substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low-Temperature Heteroepitaxy of β- SiC on Si(111) Substrates

著者

和文:	恵下, 鈴木邦広, 原徹, 三重野文雄, 古村雄二, 前田守, 杉井寿博, 伊藤隆司.
英文:	Tetsuo Eshita, Kunihiro Suzuki, Toru Hara, Fumio Mieno, Yuji Furumura, Mamoru Maeda, Toshihiro Sugii, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. MRS Symp.

巻, 号, ページ

pp. 357-362

出版年月

1988年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Boston