SiC Growth   and Its Application to Si-HBTs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	SiC Growth and Its Application to Si-HBTs

著者

和文:	杉井寿博, 青山敬幸, 古村雄二, 伊藤隆司.
英文:	Toshihiro Sugii, Takayuki Aoyama, Yuji Furumura, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of American Vacuum Society Topical Symp. on Si Based Heterostructures

巻, 号, ページ

p. 124

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of American Vacuum Society Topical Symp. on Si Based Heterostructures

開催地

和文:
英文:	Phoenix