2l psec Switching 0.13μm-CMOS at Room Temperature Using High Performance Co Salicide Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	2l psec Switching 0.13μm-CMOS at Room Temperature Using High Performance Co Salicide Process

著者

和文:	山崎辰也, Kenichi Goto, 深野哲, 奈良安雄, 杉井寿博, 伊藤隆司.
英文:	Tatsuya Yamazaki, Kenichi Goto, Tetsu Fukano, Yasuo Nara, Toshihiro Sugii, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEDM Dig. of Tech.

巻, 号, ページ

pp. 906-909

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEDM Dig. of Tech.

開催地

和文:
英文:	Washington DC