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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノ薄膜SOI における不純物のイオン化エネルギー増大 
英文: 
著者
和文: 黒澤裕也, 角谷直哉, 高橋綱己, 大橋輝之, 小田俊理, 内田 建.  
英文: Yuuya Kurosawa, N Kadotani, Tsunaki Takahashi, Teruyuki Ohashi, SHUNRI ODA, Ken Uchida.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         17a-A1-4
出版年月 2012年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第59回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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