Micro compression test using non-tapered micro-pillars of electrodeposited Cu

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro compression test using non-tapered micro-pillars of electrodeposited Cu

著者

和文:	武藤雅英, 名越貴志, TSO-FU MARK CHANG, 曽根正人.
英文:	Masahide Mutoh, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

巻, 号, ページ

pp. P202-286

出版年月

2012年9月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

開催地

和文:
英文:	Toulouse