論文

• 名越貴志, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人. 微小材料評価技術を用いたMEMS部材の評価, 日本金属学会誌, 日本金属学会誌, Volume 89, Number 6, Page 211-216, June 2025.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Masato Sone, Kazuhito Higuchi, Nao Yoshimoto, Tetsuya Shimizu, Takashi Nagoshi, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang. Application of electrodeposition utilizing supercritical carbon dioxide into nano-scale Cu wiring toward eco-friendly integrated circuit technology, THE XI'AN CARBON MEETING- An International Meeting on Carbon Pollution, Sequestration and Conversion to Energy and Chemicals, THE XI'AN CARBON MEETING- An International Meeting on Carbon Pollution, Sequestration and Conversion to Energy and Chemicals, Oct. 2025.

国内会議発表 (査読有り)

• 曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 栗岡智行, 名越貴志, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博. 高感度MEMS加速度センサ実現のための金めっき材料設計, 第16回集積化MEMS技術研究会, 第16回集積化MEMS技術研究会, June 2025.

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