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論文・著書情報


タイトル
和文:ラジカル酸窒化膜を用いたCFS/SiOxNy/Siトンネル接合の形成と構造評価 
英文: 
著者
和文: 高村陽太, 林建吾, 影井泰次郎, 周藤悠介, 菅原聡.  
英文: Yota Takamura, Kengo Hayashi, Taijiro Kagei, Yusuke Shuto, SATOSHI SUGAHARA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 41
出版年月 2011年11月28日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第16回半導体スピン工学の基礎と応用(PASPS-16) 
英文: 
開催地
和文:目黒 
英文: 

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