Vertical and Smooth Microfabrication of InP Using Simple High-Density Plasma System with SmCo Ring Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vertical and Smooth Microfabrication of InP Using Simple High-Density Plasma System with SmCo Ring Magnet

著者

和文:	松谷晃宏, Hideo Ohtsuki, Ken Ohashi, Tomonori Yokoyama, Hirokazu Yamakage, 小山二三夫.
英文:	Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Ken Ohashi, Tomonori Yokoyama, Hirokazu Yamakage, FUMIO KOYAMA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 7B pp. L960-L962

出版年月

2004年7月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI