Preparation of Al-doped Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide by VHF-PECVD for Heterojunction Emitter of N-type Crystalline Silicon Solar Cells

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Al-doped Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide by VHF-PECVD for Heterojunction Emitter of N-type Crystalline Silicon Solar Cells

著者

和文:	浜下大輔, 宮島晋介, 小長井誠.
英文:	Daisuke Hamashita, Shinsuke Miyajima, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solar Energy Material & Solar Cells

巻, 号, ページ

Vol. 107 pp. 46-50

出版年月

2012年12月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI