Metal-Assisted Chemical Etching using Silica Nanoparticle for the Fabrication of a Silicon Nanowire Array

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Metal-Assisted Chemical Etching using Silica Nanoparticle for the Fabrication of a Silicon Nanowire Array

著者

和文:	加藤慎也, 渡邊裕也, 黒川康良, 山田明, 太田最実, 丹羽勇介, 廣田正樹.
英文:	Shinya Kato, Yuya Watanabe, Yasuyoshi Kurokawa, Akira Yamada, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, Masaki Hirota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

51 02BP09

出版年月

2012年2月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI