Preparation of Passivation Film-Embedded Silicon Nanowire Arrays using Atomic Layer Deposition and Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Passivation Film-Embedded Silicon Nanowire Arrays using Atomic Layer Deposition and Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	加藤慎也, 渡邊裕也, 黒川康良, 山田明, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, 廣田正樹.
英文:	Shinya Kato, Yuya Watanabe, Yasuyoshi Kurokawa, Akira Yamada, Yoshimi Ohta, Yusuke Niwa, Masaki Hirota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年8月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Korea-Japan Top University League Workshop on Photovoltaics 2012 (TOP-PV 2012)

開催地

和文:
英文:	Seoul