スティッキング抑制手法によるマイクロマシン面発光レーザの製作

論文・著書情報

タイトル

和文:	スティッキング抑制手法によるマイクロマシン面発光レーザの製作
英文:	Fabrication of MEMS VCSELs by a release process with suppressed stiction

著者

和文:	中濵正統, 佐野勇人, 坂口孝浩, 松谷晃宏, 小山二三夫.
英文:	Masanori Nakahama, Hayato Sano, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

12a-PA5-3 22-003

出版年月

2012年9月12日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
英文:	The 73rd JSAP Autumn Meeting 2012

開催地

和文:	松山
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