A simple index to restrain abnormal protrusions in films fabricated using CVD under diffusion-limited conditions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A simple index to restrain abnormal protrusions in films fabricated using CVD under diffusion-limited conditions

著者

和文:	梶川裕矢, S. Noda, H. Komiyama.
英文:	Y. Kajikawa, S. Noda, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition

巻, 号, ページ

Vol. 10 Issue 4 pp. 221-228

出版年月

2004年9月8日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: