Use of process indices for simplification of the description of vapor deposition systems

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Use of process indices for simplification of the description of vapor deposition systems

著者

和文:	梶川裕矢, S. Noda, H. Komiyama.
英文:	Y. Kajikawa, S. Noda, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Material Science and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. B.111 Issue 2～3 pp. 156-163

出版年月

2004年6月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: