Comprehensive perspective on the mechanism of preferred orientation in reactive-sputter-deposited nitrides

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Comprehensive perspective on the mechanism of preferred orientation in reactive-sputter-deposited nitrides

著者

和文:	梶川裕矢, S. Noda, H. Komiyama.
英文:	Y. Kajikawa, S. Noda, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science and Technology A

巻, 号, ページ

Vol. 21 Issue 6 pp. 1943-1954

出版年月

2003年10月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: