Synthesis of diamond films by plasma enhanced hot-filament CVD at low substrate temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of diamond films by plasma enhanced hot-filament CVD at low substrate temperature

著者

和文:	前田英俊, 浅野禎介, 望月佳彦, 安原鋭幸, 大竹尚登.
英文:	Hidetoshi Maeda, Tadasuke Asano, Yoshihiko Mochizuki, Toshiyuki Yasuhara, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IUMRS-ICEM2012

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2012年9月25日

出版者

和文:
英文:	IUMRS-International Conference on Electronic Materials2012

会議名称

和文:
英文:	IUMRS-International Conference on Electronic Materials2012

開催地

和文:
英文:	Yokohama