ナノパルス援用熱フィラメントCVD法による合成ダイヤモンド膜の特性評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノパルス援用熱フィラメントCVD法による合成ダイヤモンド膜の特性評価
英文:

著者

和文:	前田英俊, 浅野禎介, 望月佳彦, 大竹尚登.
英文:	Hidetoshi Maeda, Tadasuke Asano, Yoshihiko Mochiduki, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2012年9月14日

出版者

和文:	精密工学会
英文:

会議名称

和文:	2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	北九州市
英文:

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