紫外線照射を用いた温度無依存シリコンスロットリング共振器の波長トリミング

論文・著書情報

タイトル

和文:	紫外線照射を用いた温度無依存シリコンスロットリング共振器の波長トリミング
英文:	UV exposure wavelength trimming of an athermal Si slot ring resonator

著者

和文:	サイファーたけし, 渥美裕樹, 小田学, 姜晙炫, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Takeshi Sifer, Yuki Atsumi, Manabu Oda, JoonHyun Kang, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

12p-C5-17

出版年月

2012年9月11日

出版者

和文:	応用物理学会学
英文:

会議名称

和文:	秋季第73回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	愛媛
英文: