オンチップ光回路のためのBCB貼り付けを用いたSi基板上InP薄膜受動素子の特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	オンチップ光回路のためのBCB貼り付けを用いたSi基板上InP薄膜受動素子の特性
英文:	InP-based passive devices with membrane structure on Si substrate using BCB bonding for on-chip PICs

著者

和文:	李智恩, 山原佳晃, 渥美裕樹, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Jieun Lee, Yoshiaki Yamahara, Yuki Atsumi, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	光エレクトロニクス研究会(OPE)
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年12月21日

出版者

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会議名称

和文:	電子情報通信学会
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開催地

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