Positioning of a MEMS Linear Motor Utilizing a Thin Film Permanent Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Positioning of a MEMS Linear Motor Utilizing a Thin Film Permanent Magnet

著者

和文:	藤原良元, 進士忠彦, Minoru Uehara, Michitaka Hori, Etsuo Fujiwara.
英文:	Ryogen Fujiwara, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara, Michitaka Hori, Etsuo Fujiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of 16TH International Conference on Mechatronics Technology

巻, 号, ページ

p. 23-28

出版年月

2012年10月16日

出版者

和文:
英文:	Tianjin University

会議名称

和文:
英文:	16TH International Conference on Mechatronics Technology

開催地

和文:
英文:	Tianjin