Toward a systematic methodology for modeling vapor deposition processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Toward a systematic methodology for modeling vapor deposition processes

著者

和文:	梶川裕矢, H. Mima, K. Matsushima, S. Noda, H. Komiyama.
英文:	Y. Kajikawa, H. Mima, K. Matsushima, S. Noda, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochemical Society Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 2005-09 pp. 29-35

出版年月

2005年9月4日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Fifteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition (EUROCVD XV)

開催地

和文:
英文:	Bochum