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論文・著書情報


タイトル
和文:Surface-Subsurface Modeling of Si Thin Film Growth by CVD with In-situ P Doping 
英文: 
著者
和文: 梶川裕矢, 玉置直樹, 野田優, 小宮山宏.  
英文: Yuya Kajikawa, 玉置直樹, 野田優, 小宮山宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2002年3月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:化学工学会第67年会 
英文: 
開催地
和文:福岡 
英文: 

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