Development of a new laser heating system for thin film growth by chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a new laser heating system for thin film growth by chemical vapor deposition

著者

和文:	藤本英司, 角谷正友, 大西剛, リップマーミック, 竹口雅樹, 鯉沼秀臣, 松本祐司.
英文:	Eiji Fujimoto, Masatomo Sumiya, Tsuyoshi Ohnishi, Mikk Lippmaa, Masaki Takeguchi, Hideomi Koinuma, Yuji Matsumoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

巻, 号, ページ

Vol. 83 No. 094701 pp. 1-6

出版年月

2012年9月6日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI