Positioning Characteristics of a MEMS Linear Motor Utilizing a Thin Film Permanent Magnet and DLC Coating

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Positioning Characteristics of a MEMS Linear Motor Utilizing a Thin Film Permanent Magnet and DLC Coating

著者

和文:	藤原良元, 進士忠彦, Minoru Uehara.
英文:	Ryogen Fujiwara, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Automation Technology

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 2 p. 148-155

出版年月

2013年3月5日

出版者

和文:
英文:	Fuji Technology Press LTD.

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI