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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Metal Inserted Poly-Si wirh High Temperature Annealing for Achieving EOT of 0.62nm in La-silicate MOSFET 
著者
和文: 川那子高暢, 李映勲, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Takamasa Kawanago, Yeonghun Lee, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:41st European Solid-State Device Research Conference 
開催地
和文: 
英文:Helsinki 

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