Epitaxial silicon oxynitride layer on a 6H-SiC(0001) surface

論文・著書情報

タイトル

和文:	Epitaxial silicon oxynitride layer on a 6H-SiC(0001) surface
英文:	Epitaxial silicon oxynitride layer on a 6H-SiC(0001) surface

著者

和文:	T. Shirasawa, K. Hayashi, S. Mizuno, S. Tanaka, K. Nakatsuji, F. Komori, H. Tochihara.
英文:	T. Shirasawa, K. Hayashi, S. Mizuno, S. Tanaka, K. Nakatsuji, F. Komori, H. Tochihara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Phys. Rev. Lett.
英文:	Phys. Rev. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 98 pp. 4

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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