XPS Study on Chemical Bonding States of high-k/high-μ Gate Stacks for Advanced CMOS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	XPS Study on Chemical Bonding States of high-k/high-μ Gate Stacks for Advanced CMOS

著者

和文:	野平博司, 小松新, 山下晃司, 角嶋邦之, 岩井洋, Y. Hioshi, K. Sawano, Y. Shiraki.
英文:	Hiroshi Nohira, 小松新, 山下晃司, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI, Y. Hioshi, K. Sawano, Y. Shiraki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

Vol. 41 No. 7 pp. 137-146

出版年月

2011年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ECS 220th Meeting

開催地

和文:	ボストン
英文:

DOI