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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Electrical properties of Tm2O3 gate dielectric and its scaling issues 
著者
和文: 常石佳奈, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Kana Tsuneishi, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
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英文: 
会議名称
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英文:IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT 
開催地
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