Chemical Vapor Deposition of Ferroelectric Thin Films: a Critical Review

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition of Ferroelectric Thin Films: a Critical Review

著者

和文:	舟窪浩, 安井伸太郎, 石河睦生, 山田智明.
英文:	Hiroshi Funakubo, Shintaro Yasui, Mutsuo Ishikawa, Tomoaki Yamada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ferroelectric Thin Films at Microwave Frequencies

巻, 号, ページ

pp. 172-182

出版年月

2010年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: