Mechanical Strength of Cu Electroplated in Supercritical CO2 Emulsion Using Micro-Compression Test

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Strength of Cu Electroplated in Supercritical CO2 Emulsion Using Micro-Compression Test

著者

和文:	木梨光, 名越貴志, TSO-FU MARK CHANG, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Hikaru Kinashi, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE2013

巻, 号, ページ

出版年月

2013年9月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNE2013, 39th International Conference on Micro and Nano Engineering

開催地

和文:
英文:	Imperial College London