マイクロ圧縮試験を用いた銅めっき膜の力学的特性評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ圧縮試験を用いた銅めっき膜の力学的特性評価
英文:

著者

和文:	名越貴志, 木梨光, 武藤雅英, Tso-Fu Mark Chang, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Takashi Nagoshi, Hikaru Kinashi, Masahide Mutoh, Mark Chang, 里達雄, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本銅学会第５３回講演大会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年11月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本銅学会第５３回講演大会
英文:

開催地

和文:
英文:

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