Effect of an inter-electrode distance in VHF-PECVD and gas flow ratios on a-SiGeC:H films and solar cells by using monomethyl germane as a germanium source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of an inter-electrode distance in VHF-PECVD and gas flow ratios on a-SiGeC:H films and solar cells by using monomethyl germane as a germanium source

著者

和文:	小長井誠.
英文:	MAKOTO KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

vol. 358 No. 17 pp. 2272-2276

出版年月

2013年1月18日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI