放電プラズマ型極端紫外光発生装置の電極現象に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	放電プラズマ型極端紫外光発生装置の電極現象に関する研究
英文:	A Study on Electrode Phenomana in Discharge Produced Extreme Ultraviolet Light Source

著者

和文:	劉世家, 増田政史, 狩野弘毅, 川口健太, 袖子田竜也, 桑原一, 長谷川純, 河村徹, 中島充夫, 堀岡一彦.
英文:	Shijia Liu, Masashi Masuda, Kouki Kanou, Kenta Kawaguchi, 袖子田竜也, 桑原一, Jun Hasegawa, Tohru Kawamura, MITSUO NAKAJIMA, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:

巻, 号, ページ

PPT-13 pp. 5-8

出版年月

2013年8月8日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	パルスパワー研究会
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開催地

和文:	神戸
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