Nanoscale Cu Wiring by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte toward 3D Integrated Circuits (Invited Lecture)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanoscale Cu Wiring by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte toward 3D Integrated Circuits (Invited Lecture)

著者

和文:	曽根正人, 清水哲也, TSO-FU MARK CHANG, 篠田奈緒, 名越貴志, 里達雄.
英文:	Masato Sone, Tetsuya Shimizu, Tso-Fu Mark Chang, Nao Shinoda, Takashi Nagoshi, Tatsuo Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IUMRS-ICEM 2014

巻, 号, ページ

出版年月

2014年6月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IUMRS-ICEM 2014, International Union of Materials Research Societies - International Conference on Electronic Materials

開催地

和文:
英文:	Taipei