Electron-Beam-Induced Crystallization of Amorphous In-Ga-Zn-O Thin Films Fabricated by UHV Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electron-Beam-Induced Crystallization of Amorphous In-Ga-Zn-O Thin Films Fabricated by UHV Sputtering

著者

和文:	T. Kamiya, K. Kimoto, N. Ohashi, K. Abe, Y. Hanyu, H. Kumomi, H. Hosono.
英文:	TOSHIO KAMIYA, K. Kimoto, N. Ohashi, Katsumi Abe, Yuichirou Hanyu, hideya kumomi, HIDEO HOSONO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 280

出版年月

2013年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. IDW'13

開催地

和文:
英文:	Sapporo