縦型MOSFETとRTDによる微細素子の作成

論文・著書情報

タイトル

和文:	縦型MOSFETとRTDによる微細素子の作成
英文:	Fabrication of vertical MOSFET integrated with resonant tunneling diode

著者

和文:	藤岡裕智, 筒井将史, 石川達也, 渡辺正裕, 浅田雅洋.
英文:	H. Fujioka, M. Tsutsui, T. Ishikawa, M. Watanabe, M. Asada.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

30a-H-8 2 893

出版年月

2002年3月30日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第49回応用物理学会関係連合講演会
英文:	The 49th Spring Meeting of The Jpn. Soc. Of Appl. Phys. And Related Societies

開催地

和文:	神奈川県
英文:	Kanagawa