A Study of Robust Stitch Design for Litho-etch-litho-etch Double Patterning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study of Robust Stitch Design for Litho-etch-litho-etch Double Patterning

著者

和文:	Yoko Takekawa, Chikaaki Kodama, 高橋篤司, 小平行秀, Satoshi Tanaka, Keishi Sakanushi, Jiro Higuchi, Shigeki Nojima.
英文:	Yoko Takekawa, Chikaaki Kodama, Atsushi Takahashi, Yukihide Kohira, Satoshi Tanaka, Keishi Sakanushi, Jiro Higuchi, Shigeki Nojima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年6月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Design for Manufacturability and Yield 2013 (DFM&Y2013)

開催地

和文:
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