Minimum Cost Stitch Selection in LELE Double Patterning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Minimum Cost Stitch Selection in LELE Double Patterning

著者

和文:	小平行秀, Yoko Takekawa, Chikaaki Kodama, 高橋篤司, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.
英文:	Yukihide Kohira, Yoko Takekawa, Chikaaki Kodama, Atsushi Takahashi, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年6月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Design for Manufacturability and Yield 2013 (DFM&Y2013)

開催地

和文:
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