ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法
英文:	Local Pattern Modification Method for Lithographical ECO in Double Patterning

著者

和文:	宮辺祐太郎, 高橋篤司, 松井知己, 小平行秀, 横山陽子.
英文:	Miyabe Yutaro, Atsushi Takahashi, Tomomi Matsui, Yukihide Kohira, Yoko Yokoyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2013-149)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2013-149)

巻, 号, ページ

Vol. 113 No. 454 pp. 87-92

出版年月

2014年3月4日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

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英文: