Localization concept of re-decomposition area to fix hotspots for LELE process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Localization concept of re-decomposition area to fix hotspots for LELE process

著者

和文:	Yoko Yokoyama, Keishi Sakanushi, 小平行秀, 高橋篤司, Chikaaki Kodama, Satoshi Tanaka, Shigeki Nojima.
英文:	Yoko Yokoyama, Keishi Sakanushi, Yukihide Kohira, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama, Satoshi Tanaka, Shigeki Nojima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 9053, Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII, 90530V

巻, 号, ページ

1-8

出版年月

2014年3月28日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI