Yield-aware decomposition for LELE double patterning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Yield-aware decomposition for LELE double patterning

著者

和文:	小平行秀, Yoko Yokoyama, Chikaaki Kodama, 高橋篤司, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.
英文:	Yukihide Kohira, Yoko Yokoyama, Chikaaki Kodama, Atsushi Takahashi, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 9053, Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII, 90530T

巻, 号, ページ

1-10

出版年月

2014年3月28日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文:

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DOI